在发丝般细的液冷板里“排雷”，超声波显微镜的精密守护

随着微电子技术的迅速发展，高热流密度设备的广泛使用，迫使电子设备的散热要求越来越高。尤其是在AI算力爆发式增长的今天，英伟达Rubin平台推出的双芯片GPU功耗高达2300W，这远超传统风冷和冷板式液冷的散热极限；正所谓机遇与挑战并存，微通道液冷板MLCP（Micro-Channel Lid）应运而生。

这是一种专为超高功耗AI芯片设计的芯片级液冷散热技术，其主要的核心部件便是将芯片上方的液冷板和覆盖其上的金属盖（均热板、液冷板、封装盖板）整合为一体，内部通过蚀刻工艺，形成微通道，让冷却液能直接流经芯片表面，从而减少了中间介质的使用，缩短了热传递路径，大大提高了散热效率，同时也把散热系统的体积给压缩了。

通常微通道液冷板内部的成形方式采用焊接成形，这使得冷板腔内部分布了众多微小通道，在保证密封以及连接的焊接时，易对微小通道产生堵塞、变形等技术问题；并且由于冷却液直接接触芯片，器件内部焊接面在长期热应力作用下易产生虚焊、接触不良或早期失效，进而导致液体渗透和泄漏的问题。这些比头发丝还细的微通道，一旦因加工缺陷导致堵塞或渗漏，就可能让价值百万的服务器瞬间“报废”。

如何确保每一根微通道都畅通无阻呢？答案是超声波扫描显微镜。

超声波扫描显微镜（SAM）检测技术能够利用超声波的传播特性显示器件内部的缺陷或分层信息，是一种无损检测的有效方式。上海和伍深耕自主研发，以成熟的技术进入国产高端超声无损检测设备市场，其构成主要包括了高频脉冲发射器、运控系统、数据采集卡以及计算机成像系统,图像分辨率在1-4000um。

当高频超声波穿透微通道液冷板，遇到气泡、流道堵塞、 焊料溢出、焊接不良等问题时，界面会因声阻抗差异，产生反射信号，通过分析反射波的辐值、频率或相位等，可以即刻生成高精度、高分辨率的图像，这样便可以对通道内部的“缺陷”大小、位置做到“一览无余”，还可以判断缺陷的类型，有了SAM的精密守护，冷却液流道内部的绝对通畅便有了可靠保障。

国产设备和伍超声波扫描显微镜联合高校科研资源，攻克多项关键技术难题，已为奇竑科技、华为、银轮机械等多家头部企业提供服务，甚至在部分领域其专业程度与国际巨头并驾齐驱；如今随着AI行业的迅猛发展，国产超声技术不仅是AI服务器产业链中的关键检测工具，更是保障AI算力硬件高可靠性和供应链安全的隐形基石。